Please use this identifier to cite or link to this item:
http://thuvien.ued.udn.vn/handle/TVDHSPDN_123456789/62689| Title: | Nghiên cứu ảnh hưởng của các điều kiện lắng đọng đến cấu trúc và tính chất của màng mỏng ZnO chế tạo bằng phương pháp phún xạ |
| Authors: | Mai Thi Kiều, Liên TS. Nguyễn Thị Phương, Chi |
| Keywords: | màng mỏng ZnO phương pháp phún xạ |
| Issue Date: | 2026 |
| Publisher: | Trường Đại học Sư Phạm - ĐHĐN |
| Abstract: | Chế tạo màng mỏng ZnO bằng phương pháp phún xạ và nghiên cứumộtcách hệ thống ảnh hưởng của áp suất làm việc, tỷ lệ khí Ar/O₂, nhiệt độ đế và thời gian lắng đọng đến cấu trúc và các tính chất đặc trưng của màng. |
| Description: | Khóa luận Tốt nghiệp - Khoa Lý - Hóa |
| URI: | http://thuvien.ued.udn.vn/handle/TVDHSPDN_123456789/62689 |
| Appears in Collections: | KLTN - Khoa Lý-Hóa |
Files in This Item:
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
